干涉掃描原理 
干涉掃描原理是利用精細光柵的衍射和干涉形成位移的測量信號。階梯狀光柵用作測量基準：高度0.2 μm的反光線刻在平反光面中。光柵尺前方是掃描掩膜，其柵距與光柵尺柵距相同，是透射相位光柵。光波照射到掃描掩膜時，光波被衍射為三束光強近似的光：-1、0和+1。光柵尺衍射的光波中，反射的衍射光的光強zui強光束為+1和-1。這兩束光在掃描掩膜的相位光柵處再次相遇，又一次被衍射和干涉。它也形成三束光，并以不同的角度離開掃描掩膜。光電池將這些交變的光強信號轉(zhuǎn)化成電信號。

信號處理電路質(zhì)量
掃描光柵導(dǎo)軌與光柵尺間誤差其中必須區(qū)分兩種不同精度，一個是大行程上的（例如全量程）的位置測量誤差，另一個是單信號周期內(nèi)的位置測量誤差。整個測量范圍的位置誤差封閉式直線光柵尺精度等級的定義是：在任意1 m長的測量范圍內(nèi)，測量曲線上的極限值±F不超過精度等級±a。它是zui終檢測中確定的并標注在檢定記錄圖中。對封閉式直線光柵尺，這些值適用于整個光柵尺系統(tǒng)，包括掃描單元。因此，它是系統(tǒng)精度。單信號周期內(nèi)位置誤差單信號周期內(nèi)的位置誤差取決于光柵尺的信號周期、光柵質(zhì)量和掃描質(zhì)量。在任何測量位置該誤差通常在信號周期的± 2 %至± 0.5 %范圍內(nèi)（見表）。信號周期越小，單信號周期內(nèi)的位置誤差也越小。這對定位運動精度和慢速運動以及軸運動期間的速度控制非常重要因此它決定被加工件表面質(zhì)量和質(zhì)量。威斯特

所有海德漢公司的直線光柵尺在發(fā)貨前全部進行定位精度和功能檢驗。雙方向運動測量位置誤差并在檢定記錄圖中提供平均值曲線。檢驗合格證用于證明每個光柵尺或編碼器符合系統(tǒng)精度要求。檢定標準符合國家或*標準求，能確保滿足EN ISO 9001的可追溯性要求。本樣本中的LC，LF和LS系列直線光柵尺的檢定記錄圖還提供測量長度范圍的位置誤差。也提供測量參數(shù)和檢定測量的不確定性數(shù)據(jù)。溫度范圍檢定直線光柵尺時的標準溫度為20 °C。檢定記錄圖中的系統(tǒng)精度僅對該溫度有效。工作溫度范圍是指直線光柵尺能夠正常工作的環(huán)境溫度范圍。而-20°C至+70°C的存放溫度范圍適用于該產(chǎn)品在包裝狀態(tài)下。如果測量長度為3 240 mm以上，LC 1x5系列直線光柵尺允許的存放溫度需限制在–10 °C至+50 °C以內(nèi)。

海德漢公司用于數(shù)控機床的直線光柵尺幾乎可以適應(yīng)任何應(yīng)用。它是所有進給軸為伺服控制環(huán)控制的機器和設(shè)備的*選擇，例如銑床、加工中心、鏜床、車床和磨床。直線光柵尺的動態(tài)性能優(yōu)點，允許的運動速度高，沿測量方向的加速性能使其不僅能滿足常規(guī)軸高動態(tài)性能要求，也能滿足直接驅(qū)動電機的高動態(tài)性能要求。HEIDENHAIN也提供其它應(yīng)用所需的直線光柵尺，例如手動操作機床、沖壓機和彎板機、自動化生產(chǎn)設(shè)備。

直線光柵尺優(yōu)點
直線光柵尺測量直線軸位置過程期間沒有任何其它機械傳動件。用直線光柵尺的位置控制環(huán)中包括全部進給機構(gòu)。機械運動誤差被滑板中的直線光柵尺檢測和被控制系統(tǒng)電路修正。因此它能消除潛在多項誤差源。滾珠絲杠溫度特性導(dǎo)致的定位誤差、反向誤差、滾珠絲杠螺距誤差導(dǎo)致的運動特性誤差、因此，直線光柵尺是高精度定位和高速加工機床*的基礎(chǔ)技術(shù)手段。